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q面阴极特点Q?br />
1?采用独特的磁路设计,H破传统模式Q更W合控溅射的理c(din)?br /> 2?采用独特的结构设计,可以内置、外|,更符合用要求?br /> 3、磁铁不被冷却水包围Q减腐蚀Q且保证力U的有效曲线分布?br /> 4、独特的布气方式Q更加保膜层溅射的均匀性,其等d状态更加^衡?br /> 5?更高的溅率Q离子密度更强?br /> 6?更高的利用率Q高?0%以上?br /> 7?寸范围Q可?00-3000mm区间Q保持一致的均匀?br /> 8、用范_(d)(x)如TI、AL、NI、CR、AZO、ITO{?br />

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